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기가포톤, 첨단 소재 응용 분야의 펄스 레이저 증착용 L300KZ 엑시머 레이저 평가 착수
첨단 반도체 제조 공정용 광원 제조업체인 기가포톤(Gigaphoton Inc., 본사: 도치기현 오야마시, 사장 겸 최고경영자: 에나미 타츠오(Tatsuo Enami))은 2026년 9월 25일 자국의 한 고온 초전도선 제조업체에 펄스 레이저 증착(PLD)용 L300KZ KrF 엑시머 레이저를 설치했다고 발표했다. 일본 내각부가 주관하는 문샷 연구개발 프로그램(Moonshot Research and Development Program)의 10호 목표에 따라 개발된 이 레이저는 고온 초전도선의 양산을 위한 평가에 착수했다.
기가포톤은 문샷 10호 목표 연구개발 프로젝트인 ‘다양한 혁신적 핵융합로 콘셉트 실현을 위한 기초 초전도 기술(Fundamental Superconducting Technology to Realize Various Innovative Fusion Reactor Concepts)’(과제 번호 JPMJMS24A2)의 참여 기관이다. 본 프로젝트는 핵융합로에 사용되는 초전도 자석의 중요한 구성 재료인 고성능 희토류 바륨 구리 산화물([1]REBCO) 와이어의 고품질 저비용 대량 생산 기술을 확립하는 것을 목표로 한다. 본 프로젝트에서 기가포톤은 PLD 공정에 사용되는 엑시머 레이저 개발을 담당한다. 이번 평가를 위해 설치된 L300KZ는 고온 초전도 소재의 PLD 박막 증착을 위한 고펄스 에너지 레이저로, 기가포톤의 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 통해 축적된 기술을 적용하여 개발되었다.
PLD 공정에 사용되는 광원 중 엑시머 레이저는 고펄스 에너지를 제공하며 고품질 박막 형성에 널리 사용된다. 이 회사는 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저 분야에서 축적한 광범위한 경험을 바탕으로 개발한 기술, 특히 안정적인 작동과 고가용성을 지원하는 기술을 적용하고 있다. 기가포톤은 PLD 공정의 생산성 및 장비 가용성 향상에 기여하는 것을 목표로 한다.
이번 설치를 통해 프로젝트는 실제 PLD 박막 증착 공정 환경에서의 평가 단계로 진입하게 된다. 기가포톤은 프로젝트 관련 기관들과 협력하여 레이저 작동 조건과 증착 공정 간의 관계를 검증할 예정이며, 이는 고온 초전도선의 품질 향상 및 대량 생산 기술 확립에 기여할 것이다.
기가포톤의 사장 겸 최고경영자 에나미 타츠오는 “실제 박막 증착 공정 환경에 PLD용 엑시머 레이저를 설치하고 평가 단계에 착수한 것은 기가포톤에 있어 중요한 진전이다. 고온 초전도선 외에도, 우리는 기능성 박막, 첨단 전자 소재, 광학 소재 등 PLD 기술이 활용되는 광범위한 첨단 소재 분야에서의 응용을 기대하고 있다. 기가포톤은 관련 기관과의 지속적인 협력을 통해 고온 초전도선 양산 기술 확립에 기여하는 동시에 첨단 소재 산업에서 새로운 가치를 창출하기 위해 노력할 것이다”라고 말했다.
기가포톤 소개
2000년에 설립된 기가포톤(Gigaphoton)은 반도체 리소그래피용 KrF 및 ArF 엑시머 레이저 광원을 제공하는 선도적인 기업이다. 기가포톤은 자사의 첨단 레이저 기술을 통해 전 세계 반도체 제조업체들이 생산성 향상, 품질 개선, 그리고 더욱 지속가능한 제조를 실현할 수 있도록 지원한다. 기가포톤의 글로벌 서비스 네트워크는 전 세계 반도체 제조업체의 가용성과 안정적인 생산 운영을 극대화하는 데 전념하는 고객 중심적인 지원을 제공한다.
기가포톤은 레이저 및 리소그래피 기술 분야의 전문성을 활용하여 반도체 리소그래피를 넘어 EUV 광원, 첨단 패키징용 엑시머 레이저, 첨단 소재 가공 응용 분야 등 새로운 분야로 역량을 확장하고 있다.
웹사이트: https://www.gigaphoton.com
[1] REBCO: 희토류 바륨 구리 산화물은 고온 초전도 물질이다. 이 물질은 액체 질소 온도(-196°C) 이하에서 전기 저항이 0인 초전도 상태에 들어간다.
이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.
기가포톤은 문샷 10호 목표 연구개발 프로젝트인 ‘다양한 혁신적 핵융합로 콘셉트 실현을 위한 기초 초전도 기술(Fundamental Superconducting Technology to Realize Various Innovative Fusion Reactor Concepts)’(과제 번호 JPMJMS24A2)의 참여 기관이다. 본 프로젝트는 핵융합로에 사용되는 초전도 자석의 중요한 구성 재료인 고성능 희토류 바륨 구리 산화물([1]REBCO) 와이어의 고품질 저비용 대량 생산 기술을 확립하는 것을 목표로 한다. 본 프로젝트에서 기가포톤은 PLD 공정에 사용되는 엑시머 레이저 개발을 담당한다. 이번 평가를 위해 설치된 L300KZ는 고온 초전도 소재의 PLD 박막 증착을 위한 고펄스 에너지 레이저로, 기가포톤의 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 통해 축적된 기술을 적용하여 개발되었다.
PLD 공정에 사용되는 광원 중 엑시머 레이저는 고펄스 에너지를 제공하며 고품질 박막 형성에 널리 사용된다. 이 회사는 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저 분야에서 축적한 광범위한 경험을 바탕으로 개발한 기술, 특히 안정적인 작동과 고가용성을 지원하는 기술을 적용하고 있다. 기가포톤은 PLD 공정의 생산성 및 장비 가용성 향상에 기여하는 것을 목표로 한다.
이번 설치를 통해 프로젝트는 실제 PLD 박막 증착 공정 환경에서의 평가 단계로 진입하게 된다. 기가포톤은 프로젝트 관련 기관들과 협력하여 레이저 작동 조건과 증착 공정 간의 관계를 검증할 예정이며, 이는 고온 초전도선의 품질 향상 및 대량 생산 기술 확립에 기여할 것이다.
기가포톤의 사장 겸 최고경영자 에나미 타츠오는 “실제 박막 증착 공정 환경에 PLD용 엑시머 레이저를 설치하고 평가 단계에 착수한 것은 기가포톤에 있어 중요한 진전이다. 고온 초전도선 외에도, 우리는 기능성 박막, 첨단 전자 소재, 광학 소재 등 PLD 기술이 활용되는 광범위한 첨단 소재 분야에서의 응용을 기대하고 있다. 기가포톤은 관련 기관과의 지속적인 협력을 통해 고온 초전도선 양산 기술 확립에 기여하는 동시에 첨단 소재 산업에서 새로운 가치를 창출하기 위해 노력할 것이다”라고 말했다.
기가포톤 소개
2000년에 설립된 기가포톤(Gigaphoton)은 반도체 리소그래피용 KrF 및 ArF 엑시머 레이저 광원을 제공하는 선도적인 기업이다. 기가포톤은 자사의 첨단 레이저 기술을 통해 전 세계 반도체 제조업체들이 생산성 향상, 품질 개선, 그리고 더욱 지속가능한 제조를 실현할 수 있도록 지원한다. 기가포톤의 글로벌 서비스 네트워크는 전 세계 반도체 제조업체의 가용성과 안정적인 생산 운영을 극대화하는 데 전념하는 고객 중심적인 지원을 제공한다.
기가포톤은 레이저 및 리소그래피 기술 분야의 전문성을 활용하여 반도체 리소그래피를 넘어 EUV 광원, 첨단 패키징용 엑시머 레이저, 첨단 소재 가공 응용 분야 등 새로운 분야로 역량을 확장하고 있다.
웹사이트: https://www.gigaphoton.com
[1] REBCO: 희토류 바륨 구리 산화물은 고온 초전도 물질이다. 이 물질은 액체 질소 온도(-196°C) 이하에서 전기 저항이 0인 초전도 상태에 들어간다.
이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.
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